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晶圆涂胶（清洗）专用封装力矩电机 EV-KM-10（6寸）

晶圆涂胶（清洗）专用封装力矩电机 EV-KM-10（6寸）

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晶圆涂胶（清洗）专用封装力矩电机 EV-KM-10

晶圆制造领域-KBM10电机（6英寸）


技术特点：

1、中空轴设计

2、外壳水冷设计

3、输出轴磁流体密封

4、输出轴跳动≤5μm

5、最大转速9000RPM

6、最大空载加速度60000RPM/S