精密激光加工平台

主要用于精密激光加工。XY直线轴及旋转轴都采用气浮+直驱的结构。

技术指标

1、XY轴：IL系列无铁芯直线电机,直线度＜1μm ，重复精度0.5μ，定位精度≤±1μm。

2、旋转轴：KBM力矩电机，径跳/端跳<0.3μm，重复精度1角秒，定位精度5角秒。

3、AKD系列驱动器