精密微细加工平台
主要用于精密铣削加工。加工范围从几十微米到几百微米。
技术指标
1.、XY轴：IC系列有铁芯电机，重复精度±1μm，定位精度3μm。
2、Z 轴：AKM伺服电机+丝杆+光栅闭环。重复定位±2μm,定位精度5μm
3、AKD系列驱动器
公网安备:11011302004055号