晶圆涂胶（清洗）专用封装力矩电机 EV-KM-14

晶圆制造领域-KBM14电机（6 / 8英寸）

技术特点：

1、中空轴设计

2、外壳水冷设计

3、机械精度：输出轴跳动≤3微米

4、高转速：最大转速9500RPM

5、最大空载加速度60000RPM/s

产品优势：

1、和负载直接连接，消除了减速机、同步带和滑轮

2、零背隙提供了更好的系统性能

3、消除了机器连接设备，降低了机器的整体尺寸

4、内置式电机使机器更为紧凑，有助于保护您的知识产权